中国科学院重庆绿色智能技术研究院

新闻资讯 news

联系我们

服务热线
023-65935071

邮箱:
ptjsb@cigit.ac.cn

地址:
重庆市北碚区水土高新园区方正大道266号

点击查看地图

行业动态

您当前位置:首页 -  新闻资讯 -  行业动态

微机器人技术在超精密加工中的应用

文章来源:     时间:2017-04-11 13:55:48     浏览人数:

日本的一些学者提出了利用微机器人进行超精密加工的概念,这一概念突破传统加工观念,设计出可以自由移动的微小机器人,让机器人群在工件上爬,可实现纳米级超精密加工。

超精密加工技术在国防工业、信息产业和民用产品中都有着广泛的应用前景。在国防工业中,导弹陀螺仪的质量直接影响其命中率,1kg的陀螺转子,其质心偏离对称轴0.0005μm,就会引起100m的射程误差和50m的轨道误差。在宇航技术中,卫星的姿态轴承为真空无润滑轴承,其孔和外圆的圆度及圆柱度均为纳米级。卫星用的光学望远镜、电视摄像系统、红外传感器等,其光学系统中的高精度非球面透镜等都必须经过超精密车、磨、研、抛等超精密加工。此外,大型天体望远镜的透镜、红外线探测器反射镜,激光核聚变用的曲面镜等都是靠超精密加工才能制造。在信息产业中,计算机芯片、磁盘和磁头,复印机的感光鼓等都要经过超精密加工才能达到要求。民用产品中的许多产品,如隐形眼镜,就是用超精密数控车床加工而成的。

超精密加工的实现方法

目前,实现超精密加工的方法主要有:超精密切削,如超精密金刚石刀具镜面车削、镗削和铣削等;超精密磨削、研磨和抛光;超精密微细加工(电子束、离子束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技术等)。

日本的一些学者提出了利用微机器人进行超精密加工的概念,这一概念突破传统加工观念,设计出可以自由移动的微小机器人,让机器人群在工件上爬,可实现纳米级超精密加工。

机构的小型化可以节约资源和能源,并且由于零件尺寸的减小,从而提高了单位体积和重量的功能的集成度。小型化也开辟了许多新的应用领域,比如在工业上的遥操作或细胞生物领域的应用。源于微电子技术的硅微加工工艺对于机构的小型化有着重大影响,它在同一个零件上集成了机械和电子功能,非常适合于加工MEMS系统。