中国科学院重庆绿色智能技术研究院

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实验室介绍

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本微工加工技术平台隶属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院,目前已 获批成为《跨尺度制造技术重庆重点实验室》、《重庆市超精密加工检测工程技术中心》、《重庆市微纳加工与检测技术公共服务平台》三个省部级研发平台,也是《北碚区微光学器件研发与产业应用技术孵化平台》和《北碚区超精密加工检测公共服务平台》。 拥有国内外一流的研发团队和研发咨询专家,为提供技术前沿的微纳元器件技术加工服务。我们主要从事微纳结构光学、超精密加工、石墨烯、生物芯片等方向的器件设计、研发、生产和技术的系统集成服务,与国内各大高校、科研院所、微光学领域的企业保持着紧密的合作关系。

本平台分为三大中心:超精密加工中心、微纳加工中心、微纳与超精密检测中心

超精密加工中心:

可实现有色金属(铝合金、黄铜等)、红外材料(锗、硫化锌等)、光学塑料(PMMA、PC等)、硬质合金(碳化钨、钨钴合金等)材料的各种光学结构超精密研制和生产。配备了美国MOORE Nanotech350FG五轴单点金刚石车床、韩国马渊七站式玻璃模压机、法国ALLIANCE GONCEPT 公司DP650C磁控溅射镀膜机、电子束蒸发镀膜机、热蒸发镀膜机、CVD镀膜机等完备的超精密加工设备。主要应用于:精密光学器件加工,高精度镜头模仁,自由曲面、棱镜、LED灯具配光、LED照明、激光光束整形、激光通信、激光加工等领域。

微纳加工中心:

可实现亚10nm到百微米特征尺寸微纳结构材料与器件的可控制作,具有全套微光学元件及微流控生物医疗器械的设计、研发、生产能力。配备了德国海德堡公司DWL-66FS激光直写系统、美国ABM6双面对准光刻机、ME-3A磁增强等离子体刻蚀机两台、瑞典NIL公司CNI纳米压印机2台、美国蔡司公司orion氦鎵双束聚焦离子束直写系统、德国EBL图形发生器、国产光电所6英寸曝光机及清洗、涂胶、烘烤等完备的微纳加工设备。主要应用于激光景观、激光传感、MEMS器件、生物医疗器械等领域。

微纳与超精密检测中心:

服务于上述两大加工中心,可实现产品质量的可靠管控。拥有美国ZYGO公司NV7100白光干涉仪、美国Zygo激光干涉仪、荷兰帕纳科公司X’Pert3 Powder X射线衍射仪,英国泰勒霍普森PGI3D三维轮廓仪、日本尼康NI-3精密测量显微镜、美国布鲁克MOD8原子力显微镜、日本电子JEOL7800扫描电子显微镜、美国tencor公司ALPHA-STEP台阶仪、美国铂金艾尔默公司SP400红外光谱成像系统、英国雷尼绍拉曼光谱成像系统,英国lambda35紫外可见分光光度计,日本奥林巴斯FV1200激光共聚焦显微镜、美国安捷伦CARY 630红外光谱仪等一大批精密测量表征设备。能够实现材料成分和缺陷的分析,一维、二维、三维结构的精确表征,器件光学性能的测试等功能。

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