中国科学院重庆绿色智能技术研究院

纳米器件

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  • FIB加工

    氦离子束加工金膜

    尺寸表征:约10 nm

     

    氦离子束加工石墨烯

    尺寸10 nm,周期30 nm

    镓离子束加工ITO/Glass

    尺寸50 nm,周期100 nm 光栅

    尺寸1 mm,内经500 nm 圆环

    镓离子束加工

    150 nm 银点阵

    OLED结构剖面

    镓离子束加工ITO/Glass

    周期320nm,间隔100nm的光学结构

    镓离子束加工ITO/Glass

    120nm间隔,同心圆环

  • EBL加工

    EBL刻蚀的波导

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    200nm的PMMA上做的光栅结构

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    EBL在PMMA上刻蚀50nm圆形阵列

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